Apabila proses semikonduktor global bergerak ke arah nod lanjutan 3nm/2nm, bahan titanium ketepatan (ASTM B265/B348, Gred 1/2/5 tinggi-titanium ketulenan dan aloi titanium) sedang menaik taraf daripada "bahan tambahan" kepada bahan strategik utama untuk pembuatan semikonduktor, dengan{{8} ultra rendah, dengan-ketulenan ultratinggi. kekotoran, kestabilan haba yang kuat, rintangan kakisan dan sifat{10}}bukan magnetik. Perhatian dan permintaan pasaran meningkat secara serentak.
Pemacu teras: Proses lanjutan memaksa naik taraf bahan
Proses semikonduktor lanjutan (5nm dan ke bawah) memerlukan tiga keperluan teras keras utama untuk bahan: ketepatan aras nanometer, tahap kebersihan atom dan kestabilan alam sekitar yang melampau:
-Bahan sasaran titanium ketulenan tinggi (Gred 1, ketulenan Melebihi atau sama dengan 99.999%/5N): Bahan teras sputtering PVD, digunakan untuk lapisan penghalang saling sambung tembaga, palam sesentuh, untuk mengelakkan penyebaran atom kuprum daripada mencemarkan wafer silikon, menentukan secara langsung hasil cip dan proses prestasi keseluruhan 130.
-Komponen struktur ketepatan (Gred 2/5): meja kerja mesin litografi, ruang mesin goresan, bebibir vakum, lengan robot wafer, dsb., dengan pekali pengembangan terma yang rendah (8.6 × 10 ⁻⁶/ darjah ) dan ubah bentuk turun naik suhu hanya 1/3 aras ketepatan aluminium, meningkatkan kedudukan aloi aluminium, meningkatkan
-Komponen tahan kakisan (Gred 7): Tahan kepada hakisan asid/halogen kuat dalam peralatan goresan dan pembersihan basah, tanpa pencemaran pemendakan logam, sesuai untuk vakum tinggi dan keadaan kerja melampau plasma yang kuat.
Kelebihan teras bahan titanium standard Amerika
1. Ketulenan ultra tinggi+kekotoran ultra-rendah: Titanium ketulenan-tinggi Gred 1 standard Amerika dengan kekotoran oksigen/nitrogen/karbon yang boleh dikawal<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Kestabilan terma+ketepatan dimensi: kekonduksian terma rendah (21.9W/(m · K)), pekali kecil pengembangan haba, toleransi sehingga ± 0.005mm, kelancaran permukaan Ra Kurang daripada atau sama dengan 0.4 μm, sesuai untuk pemasangan skala nano dan pengedap vakum.
3. Rintangan kakisan+bukan-pelepasan gas rendah magnetik: penyembuhan sendiri lapisan oksida semula jadi-, tahan kepada kakisan Cl ₂/F ₂/asid kuat; Tidak magnetik dan tidak mengganggu litar ketepatan; Kadar pelepasan udara adalah sangat rendah di bawah vakum ultra-tinggi (UHV), memastikan kebersihan ruang.
4. Ringan dan Kekuatan Tinggi: Ketumpatan 4.51g/sm ³ (40% lebih ringan daripada keluli tahan karat), kekuatan tegangan Gred 5 Lebih besar daripada atau sama dengan 930MPa, kekuatan khusus dua kali ganda daripada keluli tahan karat, sesuai untuk keperluan ringan bagi bahagian bergerak-tinggi.
Senario aplikasi teras
-Bahan sasaran titanium ketulenan tinggi (Gred 1): Pemendapan sputtering PVD, digunakan untuk lapisan penghalang cip logik/storan dan lapisan pelekat, dengan saiz pasaran global sebanyak 1.87 bilion dolar AS pada 2024 dan CAGR sebanyak 9.3% dari 2026 hingga 2030.
-Kebuk/bebibir vakum (Gred 2): Sistem vakum untuk peralatan etsa dan pemendapan, tahan tekanan tinggi, pelepasan gas rendah dan pengedap yang boleh dipercayai.
-Pengefektor lengan/hujung robot ketepatan (Gred 5): pemindahan wafer, ringan dan tinggi-kekuatan, kedudukan yang tepat dan tiada penumpahan zarah.
-Lapik/pelengkap kalis kakisan (Gred 7): Peralatan proses basah, tahan asid kuat seperti HF/HCl, memanjangkan hayat peralatan dan mengurangkan kos penyelenggaraan.
Aliran pasaran: penggantian domestik+penembusan teknologi
Pengembangan kapasiti semikonduktor global (terutamanya di Tanah Besar China) telah memacu pertumbuhan pesat permintaan untuk bahan titanium ketepatan. Pada tahun 2023, saiz pasaran bahagian ketepatan titanium China untuk semikonduktor akan melebihi 3 bilion yuan, dengan kadar pertumbuhan tahunan lebih daripada 25%. Pengeluaran besar-besaran yang stabil bagi bahan titanium ketepatan Gred 1/2/5 standard Amerika (termasuk kerajang titanium ultra-nipis 0.05mm,-bahan sasaran ketulenan tinggi dan komponen struktur ketepatan) telah dicapai, dengan toleransi dan ketulenan mencapai tahap lanjutan antarabangsa, membantu rantaian industri semikonduktor yang boleh dikawal secara bebas.
Di bawah proses lanjutan dan penggantian domestik pacuan dwi roda, bahan titanium ketepatan yang memenuhi piawaian Amerika telah menjadi sokongan teras untuk menaik taraf industri semikonduktor. Pada masa hadapan, mereka akan terus menerobos ke arah ketulenan yang lebih tinggi (6N), spesifikasi yang lebih nipis (Kurang daripada atau sama dengan 0.05mm), dan pemesinan yang lebih tepat (± 0.002mm).
Minta Sebut Harga
e-mel:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
